真空爐溫度均勻性的測量過程

 　　真空爐溫度均勻性的測量過程

　　1、準備工作

　　將測量熱電偶及控溫熱電偶按GB/J351—1996《中華人民共和國國家計量鑒定規(guī)程》中相關規(guī)定進行檢測，檢測合格方能進行爐溫均勻性測定。自爐體拆下測溫孔的蓋板，將9根經(jīng)過檢測合格的熱電偶依次穿上密封墊圈、橡膠墊圈，自法蘭孔中引入爐腔內(nèi)，并依次按圖1位置固定在位于爐門口支撐架上，支撐架的尺寸為有效加熱尺寸。將支撐架小心地移入爐腔內(nèi)，放在爐床上，調(diào)整其位置，使之恰好與有效加熱空間重合。固定測溫法蘭的熱電偶孔，依次放入密封墊圈，橡膠墊圈上涂布真空脂，旋緊壓緊螺栓，安裝好法蘭。

　　按操作規(guī)程手動先后啟動真空機械泵、真空羅茨泵抽真空，直到工作真空度到達2Pa后，停機30min，觀察真空計讀數(shù)，看壓升率是否在正常的0.5Pa/h之內(nèi),正常則繼續(xù)進行爐溫均勻性的測量，不正常則重新調(diào)整旋緊螺栓，重新測定壓升率，直到正常，才能繼續(xù)進行爐溫均勻性的測定。

　　2、測定過程

　　根據(jù)工藝需求進行選定測量溫度點為650℃、850℃和1000℃，在FP21控溫儀表上，設定升溫曲線。在控制偶到設定溫度120min后，開始測定各支熱電偶的值。每隔5min讀取1次，連續(xù)3次，如果各點溫度在所要求溫度的±5℃以內(nèi)，則此溫度點測量完畢，否則繼續(xù)等溫，直到溫度均勻或時間到達3h(工藝設定的保溫時間)為止并記錄各點的溫度。調(diào)整FP21表，自650℃升溫至850℃，保溫120min，重復650℃溫度點測量步驟。

　　同樣自850℃升溫到1100℃，保溫120min，重復650℃溫度點測量步驟。以上數(shù)據(jù)分別填入記錄表中，完成測定后，按正常的空爐冷卻步驟進行降溫。

　　3、恢復設備

　　打開爐門，拉出測量支架，拆開固定熱電偶的鐵絲，拆下法蘭盤，安裝好原蓋板，按正常使用進行壓升率測試，按操作規(guī)程手動先后啟動真空機械泵、真空羅茨泵抽真空，直到工作真空度到達2Pa后，停機30min，觀察真空計讀數(shù)，看壓升率是否在正常的0.5Pa/h之內(nèi)，合格則繼續(xù)，設備可以正常使用，否則繼續(xù)重新安裝原測溫口蓋板。從測溫法蘭盤中拆下測量熱電偶，注意抽出時要小心取直，以防止折斷、損壞熱電偶。