真空釬焊爐的主要結構
真空釬焊爐主機為臥式、單室內加熱結構,由爐體、加熱室、真空系統、風冷系統、充氣系統、分壓系統、水冷系統、電氣控制系統等組成。
1、真空爐主體
真空爐主體由爐體和加熱室構成。爐殼、爐門、電機罩的殼體均由雙層筒體、雙層橢圓形封頭及法蘭用氣密性焊縫焊成。雙層筒體間為水道,內通冷卻水。爐蓋采用鎖緊圈鎖緊結構。加熱室設計成圓筒形,由框架和石墨氈組成隔熱屏。
2、加熱系統
加熱系統包括加熱電源、溫控系統及加熱元件。加熱電源選用磁性調壓器,其電壓調節由直流激磁來控制,按不同的控制信號實現閉環自控,直流激磁電源由雙向晶閘管控制。溫控儀表具有自整定功能,熱電偶將電爐內部的溫度轉換成電信號,將檢測到的爐溫當前值與設定值之差,經PID運算后作為輸出信號,控制雙向晶閘管的導通角,從而有效地控制加熱元件的平均加熱功率,使得爐溫與設定的加熱曲線相吻合。加熱元件為18根石墨管,采用三角形接法,沿熱區圓周均勻分布,以提供良好的爐溫均勻性。加熱元件通過3個水冷電極與外部接線聯接。
3、真空系統
機組主泵為KT-500型擴散泵,前級泵為ZJ-600型羅茨泵和2X-70型旋片式機械泵。分別配有高真空閥、主路閥、旁路閥及與機械泵聯動的電磁壓差閥。機械泵為粗真空裝置,機械泵的后一級串有羅茨泵,羅茨泵具有較高的抽氣速率,因此可以將真空系統抽到較高的真空度;但只有在被抽系統中的壓力達到羅茨泵允許入口壓力時,羅茨泵才能開始工作,否則將會因過載和過熱而損壞。擴散泵為高真空裝置,它是通過將真空系統中的氣體分子向高速油蒸汽射流中擴散,并由前級泵排至空氣中,完成抽氣動作。
4、風冷系統
在真空爐主體的后部,裝有1臺三相異步電動機,氣體由熱交換器降低溫度后經導流罩、進氣口、葉輪通過隔熱門進入爐內工作區,再返回散熱器,實施循環冷卻。
5、水冷系統
水冷系統由不銹鋼截止閥、進水口、排水箱、水壓電接點壓力表等組成。進水口設有63.5mm(5in)不銹鋼球閥、排水口設有101.6mm(4in)法蘭,只需與用戶循環水系統接口連接即可。
6、分壓系統
分壓系統由電磁真空充氣閥、可調節針閥等組成。在銅釬焊過程中需要分壓控制時可充入高純氮氣或氬氣,分壓范圍控制在5~500Pa。
7、充氣系統
充氣系統由大通徑充氣截止閥、集氣匯流排、真空電接點壓力表等組成。
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